Os avanços da China na fabricação de chips estão atraindo atenção, principalmente após o desenvolvimento da primeira ferramenta de litografia de feixe de elétrons do país, destinada ao uso comercial.
Máquina pioneira de litografia por feixe de elétrons da China: um passo à frente com limitações
No campo da litografia, a China historicamente ficou atrás do Ocidente, principalmente devido ao acesso restrito aos equipamentos de última geração da ASML, um obstáculo crítico à produção de chips semicondutores de ponta. No entanto, diversas empresas chinesas estão trabalhando ativamente para introduzir a tecnologia ultravioleta extrema (EUV) no mercado. Uma conquista notável vem de pesquisadores da Universidade de Zhejiang, que projetaram com sucesso uma máquina de litografia que utiliza feixes de elétrons para esculpir wafers semicondutores ( via SCMP ).
Este dispositivo recém-desenvolvido, conhecido como Xizhi, representa um marco significativo, embora ainda não corresponda às capacidades dos sistemas EUV de alta NA da ASML. As ferramentas de litografia por feixe de elétrons (EBL) estão atualmente sujeitas a controles sob as regulamentações de exportação dos EUA, tornando esta conquista crucial para a indústria chinesa de chips. Embora a máquina possa atingir uma precisão de 0, 6 nanômetros, comparável à tecnologia avançada da ASML, sua produtividade é uma grande desvantagem. O método de escrita ponto a ponto empregado pela EBL significa que pode levar horas para produzir um único wafer, limitando severamente sua eficiência para produção em massa.
Para a maior parte de sua produção padrão de chips, a China continua a depender de máquinas de ultravioleta profundo (DUV).A introdução desta máquina EBL poderia potencialmente reduzir a lacuna de pesquisa e desenvolvimento entre as empresas chinesas e suas contrapartes ocidentais, permitindo a criação de protótipos avançados de chips. No entanto, a sustentabilidade deste método para a fabricação em larga escala permanece questionável.
Apesar de estar anos atrás dos EUA em tecnologias de semicondutores, o progresso da China é evidente, com a diferença diminuindo gradualmente. Será fascinante observar as implicações futuras da EBL na ambição da China de ascender no mercado global de chips.
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