台積電正加緊籌備，計畫在2025年底前投產2奈米晶圓。然而，這家全球最大的半導體生產商已將目光投向更先進的製造技術——1.4奈米技術，也稱為A14。最近的報告表明，台積電將在台灣地區啟動1.4奈米晶圓製造的基礎工作。值得注意的是，該公司似乎準備繞過ASML最近開發的、價格高昂的高數值孔徑EUV微影設備。
台積電的創新方法：利用高數值孔徑 EUV 的多重圖案化技術
根據《工商時報》報道，台中1.4奈米新廠預計今年底動工，但量產可能要到2028年下半年。台積電先前曾概述了這一時間表，並表示其A14製程可使功耗降低高達30%。
1.4奈米製程的研發將在台積電位於新竹的現有工廠進行。台積電目前已進入台中工廠的招工階段，截至8月，三棟新建築的建設許可已獲批准。為了實現這些雄心勃勃的計劃，台積電的初始投資可能超過1.5兆新台幣，約合490億美元，其中很大一部分資金將用於購買預計於2027年交付的30台EUV光刻機。
根據Dan Nystedt在 X 上報告，台積電決定不採用 ASML 的高數值孔徑 EUV 系統，可能是因為這些機器的成本高得驚人，每台價值約 4 億美元。這樣的定價帶來了巨大的財務挑戰。台積電曾堅定地表示，其目前的基礎設施能夠實現 1.4 奈米晶圓的量產，因此選擇了複雜的多重曝光方法，類似於中芯國際在其 5 奈米製程中採用的方法。
儘管台積電選擇的替代方案存在一些缺點，例如在良率優化方面可能會增加時間和成本，但該公司已準備好透過「反覆試驗」來完善其 1.4 奈米製程。台積電與其競爭對手中芯國際的關鍵差異在於，台積電擁有專業的 EUV 資源，這將有助於這項努力。鑑於距離量產仍需幾年時間，台積電擁有充足的機會來增強和優化這項尖端技術。
新聞來源：工商時報
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